的电能最终只有不到0.02℅，简单说能够转化为可用EUV光能量只有不到万分之二，很多部分能量都是以热量和废光形式消失了。”
“就是为了点亮一个EUV小灯泡，你要建造一个巨大的发电厂给他供电。”
“包括号称精度之王的运动指望，光刻机需要在纳米尺度上进行定位和移动，这需要机器精密的机械和控制系统。”
“耗电过程也氛围对抗物理惯性和磁悬浮，这也需要很多的供电，还有环境控制系统，光刻过程对环境的要求极其苛刻，任何微小的干扰都会导致晶圆报废。”
“恒温系统的机台内部温度需要稳定在±0.01°C，甚至更小范围，材料热胀冷缩会直接导致对准失真，强大精密空调和冷却系统需要24小时不间断工作，耗电量很大。”
“所以，这个电量需求的要求，您必须要跟临安甚至是汉江省巡抚衙门协调好这些，光是电费的话每年就不知道要多少钱。”王浩洋说道。