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第309章 第一道光[3 / 5]

们没有外汇进口高纯度的,只能用这个。”

“我们的车间,洁净度不够,温控不精准。但我们没有钱建超净车间,只能用这个。”

他顿了顿,声音提高:“但同志们,这些是理由吗?是咱们做不出合格芯片的理由吗?”

还是没人说话。

“我说,不是!”赵四重重地说,“设备旧,我们可以改造。材料差,我们可以提纯。环境不好,我们可以想办法控制。这些是困难,但不是绝路!”

他拿起一片报废的晶圆:“大家看看这个。线条模糊,断线,粘连。问题出在哪?出在我们把每个环节都当成独立的,没有当成一个整体。”

“光刻不是涂胶、曝光、显影三步就完了。它是一整套工艺。硅片清洗得干净吗?涂胶前表面处理到位吗?胶膜厚度均匀吗?曝光能量够不够?显影时间准不准?后烘温度对不对?”

他一个个问题抛出来,每个问题都指向一个具体的环节。

“我们现在要做的,不是抱怨设备不行、材料不行。”赵四放下晶圆,“而是要把这整套工艺,拆解成几十个、几百个细节,每个细节都做到我们能做的最好。设备精度不够,我们就用土办法补偿。材料纯度不够,我们就多道工序提纯。环境控制不好,我们就人工监测,随时调整。”

他看向陈启明:“启明,从今天起,你负责建工艺档案。每一次光刻,每一个参数。室温、湿度、胶的批次、涂胶转速、曝光时间、显影浓度、后烘温度。全部记录。做一百次,记录一百次。我们找规律,找最佳参数组合。”

陈启明眼睛亮了:“对!数据积累!量变引起质变!”

“林雪,你负责原料。”赵四转向她,“每一批原料进来,先做小样测试。不稳定的,就想办法提纯。没有设备,就用土办法。重结晶、蒸馏、过滤,什么都行。咱们不追求99.99%的纯度,但至少要保证批批稳定。”

“明白!”

“张卫东,你带几个人,改造设备。”赵四指着光刻机,“这台老家伙,控制系统太原始。你们研究研究,能不能加装简易的数控?哪怕只是把几个关键参数数字化显示,也能减少人为误差。”

“这个我能做!”张卫东兴奋起来,“我认识邮电局搞自动控制的,可以请他们帮忙。”

“刘工,你们上海组的老师傅们,”赵四看向老工人们,“经验最宝贵。

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